咸阳陶瓷研究设计院有限公司非氧化物研究所主要从事碳化硅陶瓷、C/C及C/SiC陶瓷基复合材料的制备科学与新工艺研究。
一、主要研究方向：
集成电路制造装超精密碳化硅陶瓷零部件
光学系统用碳化硅陶瓷反射镜
高温主动冷却用定向直孔发汗陶瓷
防弹梯度碳化硅陶瓷装甲
高温耐烧蚀C/C及C/SiC陶瓷基复合材料抗氧化涂层
二、材料制备工艺研究
大尺寸、复杂形状陶近净尺寸凝胶注模成型制备技术
特种陶瓷3D打印制备技术
水基冷冻浇注成型技术
室温冷凝成型技术
C/C及C/SiC复合材料PIP－CVI、RMI制备技术
大面积、高致密、低缺陷SiC膜层CVD制备技术
本单位生产碳化硅陶瓷手臂，碳化硅陶瓷托盘、碳化硅真空吸盘等高精密部件，用于IC制造行业的硅片传输及关键制程用晶圆的承载，为IC制造业提供技术支撑。
碳化硅陶瓷材料具有低膨胀、高导热，高弹性模量等特点，本单位生产的真空吸盘采用中空、不对称薄板结构设计，产品具有高稳定性、高轻量化及极低的晶圆接触面积等特点；多孔吸盘可调整孔隙结构及孔隙率满足不同工艺要求，产品具有良好的耐化学腐蚀性，目前真空吸盘及多孔吸盘已经应用于IC制造行业的各个环节。
|
